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安徽天康擴(kuò)散硅壓力變送器的主要作用及原理

更新時(shí)間:2015-09-09      點(diǎn)擊次數(shù):1660
 一、安徽天康擴(kuò)散硅壓力變送器的主要作用:
 
    安徽天康擴(kuò)散硅壓力變送器的被測(cè)介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩壓力室,低壓室壓力采用大氣壓或真空,作用在δ元件(即敏感元件)的兩側(cè)隔離膜片上,通過(guò)隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測(cè)量膜片兩側(cè)。壓力變送器是由測(cè)量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個(gè)電容器。當(dāng)兩側(cè)壓力不一致時(shí),致使測(cè)量膜片產(chǎn)生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側(cè)電容量就不等,通過(guò)振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié),轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號(hào)。
 
二、安徽天康擴(kuò)散硅壓力變送器的工作原理:
 
    壓力變送器的核心是一個(gè)擴(kuò)散硅敏感元件,它是在硅基片上采用離子注入并經(jīng)激光修正制成惠斯登電橋,過(guò)程壓力作用于傳感器的隔離膜片上使膜片產(chǎn)生位移,通過(guò)膜盒內(nèi)的硅油壓力傳遞到硅基片上,同時(shí)參考端的壓力(大氣壓、絕壓或密封壓)作用于硅片的另一測(cè),這樣在硅片的兩邊就加上了一個(gè)差壓,差壓在硅片上產(chǎn)生了一個(gè)應(yīng)力場(chǎng),使惠斯登電橋的四支電阻,有兩支因拉伸而阻值變小,另外兩支因壓縮而阻值變大,變化量為ΔR,橋臂阻值的變化使電橋失去平衡這樣就產(chǎn)生了一個(gè)與壓力成正比的電壓輸出信號(hào)。
安徽天康(集團(tuán))股份有限公司
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